螺桿真空泵·干式螺桿真空泵

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螺桿真空泵·干式螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，螺桿真空泵是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，在國內(nèi)制藥、化工、半導(dǎo)體等對清潔真空要求較高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

螺桿真空泵的用途
兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
本產(chǎn)品的自主創(chuàng)新性，產(chǎn)品質(zhì)量及價格都具有很強的市場競爭力，可大范圍替代進(jìn)口產(chǎn)品，市場需求量大，將在化工、冶金、電子、石油、航空航天、工具、造紙、包裝、食品、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、以及信息工程、生物工程、微電子等100多個領(lǐng)域全面取代目前技術(shù)含量較低的真空設(shè)備。

螺桿真空泵的優(yōu)點
目前各種真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應(yīng)用場合的影響，一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，因此近年來干式真空泵市場需求量很大,真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面,大量的有油真空系統(tǒng)已被無油清潔的真空系統(tǒng)所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點得以廣泛應(yīng)用。
干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設(shè)備，日本在螺桿壓縮機基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場。德國幾家真空設(shè)備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機體冷卻方面做了很多研究。中國企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的生產(chǎn)進(jìn)入批量化生產(chǎn)，在化工制藥等行業(yè)得到很好的應(yīng)用。

螺桿真空泵性能特點
1、工作腔內(nèi)無任何介質(zhì)，可獲得清潔真空
2、工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣工況
3、氣體在泵內(nèi)無壓縮，適宜抽取可凝性氣體
4、單臺泵可從大氣抽至1Pa，真空系統(tǒng)可大大簡化。
5、水溫對真空影響小，節(jié)水達(dá)90%以上,甚至可以不耗水。
6、不耗油,無滴漏
7、旋轉(zhuǎn)部件間無摩擦,可高速運轉(zhuǎn),整機體積小
8、結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)方便。
9、被抽氣體直接排出泵體，不污染水，無環(huán)保壓力，氣體回收更便捷。
10、可與羅茨泵、分子泵組成無油機組

螺桿真空泵的結(jié)構(gòu)
傳動軸連接主動轉(zhuǎn)子，通過同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達(dá)到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結(jié)構(gòu)類似，一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，目前通用的是直連電機，用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接，極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動。 等螺距螺桿泵由于無內(nèi)壓縮過程，排氣溫度非常高，如冷卻效果不好，會造成轉(zhuǎn)子和機殼變形，影響抽氣效果。冷卻機殼是必不可少的一個環(huán)節(jié)，水冷是最常見的方法，在機殼本體、軸承外側(cè)通冷卻水，可以達(dá)到冷卻殼體進(jìn)而冷卻轉(zhuǎn)子的目的。

螺桿真空泵工作原理
與螺桿式壓縮機類似，螺桿式干式真空泵的工作過程可分為吸氣、壓縮和排氣三個過程。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，每對相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環(huán)，現(xiàn)在以其中一對齒來說明。
吸氣過程
陽轉(zhuǎn)子按逆時針方向旋轉(zhuǎn)，陰螺桿按順時針方向旋轉(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。
壓縮過程
轉(zhuǎn)于端面是排氣端面。在這里，陽轉(zhuǎn)子沿順時針方向旋轉(zhuǎn)，陰轉(zhuǎn)于沿逆時針方向旋轉(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。
排氣過程
螺桿泵的排氣過程，齒間容積與排氣孔口連通后，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出，

國內(nèi)外生產(chǎn)概況
1、國內(nèi)螺桿真空泵的企業(yè)，從2004年起便開始進(jìn)行型線與結(jié)構(gòu)性能方面的研究。在2007年國內(nèi)干式螺桿真空泵的市場基本被國外廠家占據(jù)的時候，國內(nèi)公司投入大量資金將該產(chǎn)品轉(zhuǎn)入批量化的生產(chǎn)，并得到國家的大力支持獲得各類省級國家級科技獎項和資金。DP干式螺桿真空泵極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。它是油封式/噴射式/水環(huán)式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，在國內(nèi)各大制藥和化工企業(yè)得到大量應(yīng)用。針對不同工藝條件，其過流部件（即轉(zhuǎn)子和泵體等與氣體接觸的部分）均有防腐涂層，包括鎳磷涂層和PTFE兩種。
2、德國和日本公司在1999年底正式推出的螺桿式無油壓縮真空泵是一種專門為工業(yè)應(yīng)用(非半導(dǎo)體應(yīng)用)設(shè)計的干式泵，它是一種全新的設(shè)計，是專門用來解決工業(yè)應(yīng)用中艱苦的真空問題，如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉(zhuǎn)子，有內(nèi)壓縮過程，泵腔內(nèi)無軸承和密封，大大降低了故障率，泵腔內(nèi)沒有內(nèi)部閥門，因而耐粉塵和焦油能力強，此泵的螺桿采用內(nèi)部中空冷卻，可以降低轉(zhuǎn)子溫度和熱變形，螺桿壽命長。

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