高溫壓力傳感器

高溫壓力傳感器|耐高溫壓力傳感器|超高溫壓力傳感器

高溫壓力傳感器是為了解決在高溫環(huán)境下對各種氣體、液體的壓力進(jìn)行測量。主要用于測量鍋爐、管道、高溫反應(yīng)容器內(nèi)的壓力、井下壓力和各種發(fā)動機腔體內(nèi)的壓力、高溫油品液位與檢測、油井測壓等領(lǐng)域。目前，研究比較多的高溫壓力傳感器主要有SOS，SOI，SiO2，Poly2Si等半導(dǎo)體傳感器，還有濺射合金薄膜高溫壓力傳感器、高溫光纖壓力傳感器和高溫電容式壓力傳感器等。半導(dǎo)體電容式壓力傳感器相比壓阻式壓力傳感器其靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、功耗小，且只對壓力敏感，對應(yīng)力不敏感，因此，電容式壓力傳感器在許多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
高溫壓力傳感器由硅膜片、襯底、下電極和絕緣層構(gòu)成。其中下電極位于厚支撐的襯底上。電極上蒸鍍一層絕緣層。硅膜片則是利用各向異性腐蝕技術(shù)，在一片硅片上從正反面腐蝕形成的。上下電極的間隙由硅片的腐蝕深度決定。硅膜片和襯底利用鍵合技術(shù)鍵合在一起，形成具有一定穩(wěn)定性的硅膜片電容壓力傳感器。

工作原理
高溫壓力傳感器的工作原理風(fēng)壓傳感器的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號。

產(chǎn)品應(yīng)用 
高溫壓力傳感器廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道送風(fēng)、鍋爐，熔爐等眾多行業(yè)。

產(chǎn)品特性
1.傳感器：能感受規(guī)定的被測量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。通常有敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。
①敏感元件是指傳感器中能直接（或響應(yīng)）被測量的部分。
②轉(zhuǎn)換元件指傳感器中能較敏感元件感受（或響應(yīng)）的北側(cè)量轉(zhuǎn)換成是與傳輸和（或）測量的電信號部分。
③當(dāng)輸出為規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)信號時，則稱為變送器。
2. 測量范圍：在允許誤差限內(nèi)被測量值的范圍。
3. 量程：測量范圍上限值和下限值的代數(shù)差。
4. 精確度：被測量的測量結(jié)果與真值間的一致程度。
5. 重復(fù)性：在所有下述條件下，對同一被測的量進(jìn)行多次連續(xù)測量所得結(jié)果之間的符合程度：
6. 分辨力：傳感器在規(guī)定測量范圍圓可能檢測出的被測量的最小變化量。
7. 閾值：能使傳感器輸出端產(chǎn)生可測變化量的被測量的最小變化量。
8. 零位：使輸出的絕對值為最小的狀態(tài)，例如平衡狀態(tài)。
9. 激勵：為使傳感器正常工作而施加的外部能量（電壓或電流）。
10. 最大激勵：在市內(nèi)條件下，能夠施加到傳感器上的激勵電壓或電流的最大值。
11. 輸入阻抗：在輸出端開路時，傳感器輸入端測得的阻抗。
12. 輸出：有傳感器產(chǎn)生的與外加被測量成函數(shù)關(guān)系的電量。
13. 輸出阻抗：在輸入端短路時，傳感器輸出端測得的阻抗。
14. 零點輸出：在市內(nèi)條件下，所加被測量為零時傳感器的輸出。
15. 滯后：在規(guī)定的范圍內(nèi)，當(dāng)被測量值增加和減少時，輸出中出現(xiàn)的最大差值。
16. 遲后：輸出信號變化相對于輸入信號變化的時間延遲。
17. 漂移：在一定的時間間隔內(nèi)，傳感器輸出終于被測量無關(guān)的不需要的變化量。
18. 零點漂移：在規(guī)定的時間間隔及室內(nèi)條件下零點輸出時的變化。
19. 靈敏度：傳感器輸出量的增量與相應(yīng)的輸入量增量之比。
20. 靈敏度漂移：由于靈敏度的變化而引起的校準(zhǔn)曲線斜率的變化。
21. 熱靈敏度漂移：由于靈敏度的變化而引起的靈敏度漂移。
22. 熱零點漂移：由于周圍溫度變化而引起的零點漂移。
23. 線性度：校準(zhǔn)曲線與某一規(guī)定只限一致的程度。
24.非線性度：校準(zhǔn)曲線與某一規(guī)定直線偏離的程度。
25.長期穩(wěn)定性：傳感器在規(guī)定的時間內(nèi)仍能保持不超過允許誤差的能力。
26. 固有憑率：在無阻力時，傳感器的自由（不加外力）振蕩憑率。
27. 響應(yīng)：輸出時被測量變化的特性。
28. 補償溫度范圍：使傳感器保持量程和規(guī)定極限內(nèi)的零平衡所補償?shù)臏囟确秶��?br /> 29. 蠕變：當(dāng)被測量機器多有環(huán)境條件保持恒定時，在規(guī)定時間內(nèi)輸出量的變化。
30. 絕緣電阻：如無其他規(guī)定，指在室溫條件下施加規(guī)定的直流電壓時，從傳感器規(guī)定絕緣部分之間測得的電阻值。

相關(guān)參數(shù)
量 程： -0.1～0～1～150(MPa) 綜合精度：0.25%FS、0.5%FS
輸出信號： 4～20mA(二線制)、0～5V、1～5V、0～10V(三線制)
供電電壓： 24DCV(9～36DCV)
介質(zhì)溫度： -20～800℃
環(huán)境溫度： 常溫(-20～85℃)
零點溫漂移： ≤±0.05%FS℃
量程溫度漂移： ≤±0.05%FS℃
補償溫度： 0~70℃
安全過載： 150%FS
極限過載： 200%FS
響應(yīng)時間： 5 mS(上升到90%FS)
負(fù)載電阻： 電流輸出型：最大800Ω；電壓輸出型：大于5KΩ
絕緣電阻： 大于2000MΩ (100VDC)
密封等級： IP65
長期穩(wěn)定性能： 0.1%FS/年
振動影響： 在機械振動頻率20Hz～1000Hz內(nèi)，輸出變化小于0.1%FS

產(chǎn)品選型
1、測量的是何種壓力。
2、所測量的介質(zhì)。在選擇高溫熔體壓力傳感器時需要考慮的關(guān)鍵因素是所測量的介質(zhì)。
3、需要達(dá)到什么樣的精度。
4、此高溫壓力傳感器的耐溫性、互換性、時間穩(wěn)定性和堅固程度。
5、此高溫壓力傳感器使用何種輸出，需要的激勵電壓，以及怎樣將傳感器連接到自己的電氣系統(tǒng)中 。

發(fā)展方向 
1、向高精度發(fā)展
2、向高可靠性、寬溫度范圍發(fā)展
3、向微型化發(fā)展
4、向微功耗及無源化發(fā)展
5、向智能化數(shù)字化發(fā)展

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產(chǎn)品標(biāo)簽：高溫壓力傳感器| 耐高溫壓力傳感器|超高溫壓力傳感器

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